導讀 飛秒激光精密工程因其干法和非接觸工藝的獨特優(yōu)勢，加上可靠光源的可用性和可承受的系統(tǒng)成本，已被應用于器件微 納米制造行業(yè)。它是高質(zhì)量
飛秒激光精密工程因其干法和非接觸工藝的獨特優(yōu)勢，加上可靠光源的可用性和可承受的系統(tǒng)成本，已被應用于器件微/納米制造行業(yè)。它是高質(zhì)量微/納米結構創(chuàng)建和相關表面處理的重要先進制造手段，特別是創(chuàng)建新的功能性 MEM/NEM 器件和結構。
新加坡國立大學洪明輝教授課題組總結了激光精密工程從微米、亞微米到納米級的發(fā)展和最新進展。結合其他先進的加工工具，飛秒激光精密工程的分辨率已經(jīng)遠小于光學衍射極限，這將在下一代納米制造中發(fā)揮重要作用。對于微米級的創(chuàng)造，突出了廣泛采用的飛秒激光制造策略，包括雙光子/多光子吸收、激光誘導等離子體輔助燒蝕和孵化效應。
此外，還討論了用于亞微米特征創(chuàng)建，特別是大面積周期性表面結構化的微透鏡陣列和干涉光刻技術的最新進展。對于飛秒激光納米加工，總結了近場和遠場的加工策略。
還評估了飛秒激光精密工程的前景。如何實現(xiàn)小熱影響區(qū)是高質(zhì)量激光精密工程推動其分辨率從微米級到納米級的首要問題。其次，確保足夠高的加工速度以滿足各種工業(yè)需求也是一個關鍵挑戰(zhàn)，因為高分辨率的一束激光加工無法滿足這一要求。第三個挑戰(zhàn)是如何在遠場進行激光納米結構，因為近場效應需要非常接近樣品表面的微小光學器件，這限制了近場激光納米加工僅適用于少數(shù)超光滑表面樣品。
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