導(dǎo)讀 關(guān)于mems是什么意思，mems是什么意思這個(gè)問題很多朋友還不知道，今天小六來為大家解答以上的問題，現(xiàn)在讓我們一起來看看吧！1、mems即微機(jī)
關(guān)于mems是什么意思，mems是什么意思這個(gè)問題很多朋友還不知道，今天小六來為大家解答以上的問題，現(xiàn)在讓我們一起來看看吧！
1、mems即微機(jī)電系統(tǒng)（英語：MicroelectromechanicalSystems，縮寫為MEMS）是將微電子技術(shù)與機(jī)械工程融合到一起的一種工業(yè)技術(shù)，它的操作范圍在微米范圍內(nèi)。
2、比它更小的，在納米范圍的類似的技術(shù)被稱為納機(jī)電系統(tǒng)。
3、 微機(jī)電系統(tǒng)（MEMS,Micro-Electro-MechanicSystem）是一種先進(jìn)的制造技術(shù)平臺(tái)。
4、它是以半導(dǎo)體制造技術(shù)為基礎(chǔ)發(fā)展起來的。
5、MEMS技術(shù)采用了半導(dǎo)體技術(shù)中的光刻、腐蝕、薄膜等一系列的現(xiàn)有技術(shù)和材料，因此從制造技術(shù)本身來講，MEMS中基本的制造技術(shù)是成熟的。
6、但MEMS更側(cè)重于超精密機(jī)械加工，并要涉及微電子、材料、力學(xué)、化學(xué)、機(jī)械學(xué)諸多學(xué)科領(lǐng)域。
7、它的學(xué)科面也擴(kuò)大到微尺度下的力、電、光、磁、聲、表面等物理學(xué)的各分支。
本文分享完畢，希望對(duì)大家有所幫助。
標(biāo)簽：
免責(zé)聲明：本文由用戶上傳，如有侵權(quán)請(qǐng)聯(lián)系刪除！