導(dǎo)讀 關(guān)于半導(dǎo)體mems是什么意思,mems是什么意思這個問題很多朋友還不知道,今天小六來為大家解答以上的問題,現(xiàn)在讓我們一起來看看吧!1、MEMS
關(guān)于半導(dǎo)體mems是什么意思,mems是什么意思這個問題很多朋友還不知道,今天小六來為大家解答以上的問題,現(xiàn)在讓我們一起來看看吧!
1、MEMS是微機電系統(tǒng)(Micro-Electro-Mechanical Systems)的英文縮寫。
2、MEMS是美國的叫法,在被稱為微機械,在歐洲被稱為微系統(tǒng),它是指可批量制作的,集微型機構(gòu)、微型傳感器、微型執(zhí)行器以及信號處理和控制電路、直至接口、通信和電源等于一體的微型器件或系統(tǒng)。
3、MEMS是隨著半導(dǎo)體集成電路微細加工技術(shù)和超精密機械加工技術(shù)的發(fā)展而發(fā)展起來的,目前MEMS加工技術(shù)還被廣泛應(yīng)用于微流控芯片與合成生物學(xué)等領(lǐng)域,從而進行生物化學(xué)等實驗室技術(shù)流程的芯片集成化。
本文分享完畢,希望對大家有所幫助。
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