微機電設備(MEMS)基于微米級機械和電子元件的集成。我們在日常生活中都在不斷地使用它：例如，在我們的手機中，至少有十幾個 MEMS可以調(diào)節(jié)不同的活動，包括手機的運動、位置和傾角監(jiān)測、不同傳輸頻段的有源濾波器和麥克風本身.
更有趣的是這些設備 (NEMS) 的極端納米級微型化，因為它提供了創(chuàng)建慣性、質(zhì)量和力傳感器的可能性，其靈敏度如此之高，以至于它們可以與單個分子相互作用。
然而，NEMS傳感器的普及仍然受到傳統(tǒng)硅基技術制造成本高的限制。相反，諸如 3D 打印之類的新技術表明，可以以低成本和有趣的內(nèi)在功能創(chuàng)建類似的結(jié)構(gòu)，但迄今為止，作為質(zhì)量傳感器的性能很差。
發(fā)表在著名期刊《自然通訊》上的文章“使用 3D 打印機納米機械諧振器實現(xiàn)硅基 NEMS 性能”展示了如何通過 3D 打印獲得具有品質(zhì)因數(shù)、已發(fā)布穩(wěn)定性、質(zhì)量靈敏度和強度等品質(zhì)因數(shù)的機械納米諧振器可與硅諧振器相媲美。這項研究是都靈理工大學合作的結(jié)果——多虧了來自應用科學與技術系的Stefano Stassi和Carlo Ricciardi以及Mauro Tortello和Fabrizio Pirri(NAMES和MPNMT組)- 和耶路撒冷希伯來大學，由Ido Cooperstein和Shlomo Magdassi 進行研究。
不同的納米器件(膜、懸臂、橋)是通過在新的液體成分上進行雙光子聚合獲得的，然后通過熱處理去除有機成分，留下具有高剛性和低內(nèi)部耗散的陶瓷結(jié)構(gòu)。如此獲得的樣品然后通過激光多普勒振動測量法表征。
“我們制造和表征的 NEMS -Stefano Stassi解釋說- 具有與當前硅器件一致的機械性能，但它們是通過更簡單、更快和更通用的工藝獲得的，因此還可以添加新的化學-物理功能。例如文章中使用的材料是Nd：YAG，通常用作紅外范圍內(nèi)的固態(tài)激光源"
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