導(dǎo)讀 關(guān)于光刻膠成分及合成方式，光刻膠成分這個問題很多朋友還不知道，今天小六來為大家解答以上的問題，現(xiàn)在讓我們一起來看看吧！1、光刻膠（p
關(guān)于光刻膠成分及合成方式，光刻膠成分這個問題很多朋友還不知道，今天小六來為大家解答以上的問題，現(xiàn)在讓我們一起來看看吧！
1、光刻膠（photoresist，也作光致抗蝕劑，光阻），是一種由聚合物樹脂（resin），光敏化合物（photoactive compound）和溶劑等混合而成的膠狀液體，從成份上來講，都是碳基有機化合物。
2、樹脂，作為粘合劑的聚合物混合物，決定了光刻膠的機械和化學(xué)性能；光敏化合物，決定了光刻膠的光敏感度：當受到特定波長能量束作用后，光敏化合物會分解或者聚合，激發(fā)化學(xué)反應(yīng)，使受輻照區(qū)域在某些特定溶液中的溶解特性發(fā)生改變，或溶解性被增強或變得更難溶，進而形成光刻膠圖案；溶劑，則可以改變光刻膠的粘度，從而在合理的轉(zhuǎn)速范圍內(nèi)得到所要的厚度。
本文分享完畢，希望對大家有所幫助。
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